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小型研磨&拋光設(shè)備MA-400e
原廠品牌：
原廠介紹：
日本武藏野電子株式會(huì)社創(chuàng)立于1977年，位于日本東京都武藏野市。武藏野電子長(zhǎng)年研究半導(dǎo)體基板的精密加工，專門設(shè)計(jì)與制作研究型的小型設(shè)備。包括研削，研磨，拋光，線切割，刀具切割，劃片等設(shè)備。因設(shè)備的小型化及精密化，深得企業(yè)研發(fā)中心以及大學(xué)研究室的喜愛，在研發(fā)領(lǐng)域具有絕對(duì)占有權(quán)。不僅在硅片領(lǐng)域，同時(shí)涉及化合物半導(dǎo)體以及最先端材料的研究，為行業(yè)提供各種解決方案。
產(chǎn)品圖片：
產(chǎn)品型號(hào):
MA-400e
產(chǎn)品介紹：
1. 精密研磨設(shè)備MA-400e可以在完成高精度研削的定盤上直接安裝主軸。主軸采用高精度方位角來調(diào)整軸振動(dòng)，成功實(shí)現(xiàn)在基準(zhǔn)桌上±10μm以內(nèi)的面振動(dòng)精度。
2. 無整流直流電機(jī)不會(huì)因負(fù)荷的變動(dòng)而影響回轉(zhuǎn)數(shù)的變化，可實(shí)現(xiàn)高精度的研磨效果。
3. 自動(dòng)研磨結(jié)構(gòu)保持單元，KORO式搖動(dòng)保持單元和各種試料的組合，電子材料、電子部品、陶瓷、金屬材料、TEM、SEM、SIMS試料的前處理、
4. 利用Ｘ線得出方位、實(shí)現(xiàn)高精度的自動(dòng)研磨。
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