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快速高溫退火設(shè)備RTA RSA-06

原廠品牌：

原廠介紹：

日本株式會(huì)社第一機(jī)電成立于1991年，總部位于日本東京都。第一機(jī)電經(jīng)過長年累積的經(jīng)驗(yàn)，提供加熱相關(guān)的全部設(shè)備，包括工業(yè)爐，結(jié)晶育成設(shè)備，高頻電源，一般加熱四個(gè)領(lǐng)域。尤其是在結(jié)晶育成設(shè)備領(lǐng)域，由于可以提案的種類眾多（CZ，VB，CVD，EFG，RTA，TSSG，PVT，MSG等），在國內(nèi)外占有率卓然。特別是SiC晶體PVT，TSSG設(shè)備以及氧化鎵的EFG設(shè)備，都在業(yè)界里具有最高占有率。

產(chǎn)品圖片：

產(chǎn)品型號(hào):

RSA-06

產(chǎn)品介紹：

  1. Ceramic， Metal Free的熱場設(shè)計(jì)
  2. 可以實(shí)現(xiàn)± 10℃以下（1500℃） 的面內(nèi)溫度分布。
  3. 急加熱急冷卻的設(shè)計(jì)， 即使單片對(duì)應(yīng)整體速度也很快
  4. 反應(yīng)爐和冷卻室是分開存在， 加熱部可以保持均一高溫。 （專利申請(qǐng)）
  5. 加熱部一直是高溫保持，綜合運(yùn)轉(zhuǎn)成本會(huì)降低
  6. 本裝置為高真空對(duì)應(yīng)（可以使用干泵+渦輪分子泵）
  7. 最高可以對(duì)應(yīng)2000℃。
  8. 我們將通過充分利用仿真軟件來建議最佳的熱場

基本規(guī)格（SPEC）

有任何相關(guān)問題請(qǐng)聯(lián)系：022-28219577